CMP工藝過程中需要多種耗材，如拋光墊(PAD)、拋光液(SLURRY)、鉆石碟(DISK)、清洗刷(BRUSH)等。

CMP耗材具有技術(shù)壁壘高，客戶認證時間長的特點。目前國產(chǎn)化率很低，GMC計劃利用客戶群和自身技術(shù)優(yōu)勢，致力于成為CMP全產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)商。

CMP材料生產(chǎn)基地已啟動，生產(chǎn)多種CMP耗材。